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Month: December 2016

06/01/2017 – R. Berg – Measuring the vapor pressure of a difficult sample

By Séminaire Posted on 23 December 2016 Posted in Séminaire Exceptionnel, Séminaires

Microprocessor manufacturers often use a metal-organic vapor to create, for example, copper lines or hafnium oxide dielectric layers. Operating the vapor delivery device requires knowledge of the compound’s vapor pressure, and the most accurate way to obtain that knowledge is also the simplest…

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